大燕文学

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第215章 b－euv（第2页）

廖老说道，“行了，忙去吧！”

说完又看向祁海义，“去我办公室坐坐，缓一缓，喝口茶，看你样子也是一晚没睡。”

“人老了，睡眠少，昨天在实验室小睡了2个小时，今天见到小路，精神更好了。”

廖老有意不让路阳在实验室多待，怕他生出不该有的心思。

路阳看着里面的光路布置出神，前世他看过ASmL的演示视频，内部结构确实跟这个很像，极紫外光的吸收问题可是拦住了科学家好几年。

“小路！”

路阳回过神来，“哦，来了！”

三人来到办公室，梁圆烧水泡茶，祁海义很是热情，“早在清大就听吴总提过你几次，刚来申城时还跟老于吃过几次饭，对你他们都是极为倾佩的。”

“您过奖了，我也只能做些力所能及的辅助工作罢了。”

廖老忽然说道，“老祁，听说清大启动了SSmb项目？”

“哦，那是唐教授那边负责的光学项目，是一种稳态微聚束加速器光源，老唐也不容易，十几年了，现在才立项。”

路阳一听是光学项目，来了兴趣，立刻问道，“这个项目跟EUV有关系？”

祁海义见路阳感兴趣，也乐得充当介绍人，说不定还能给老唐拉些研究经费。

“是有些关系，SSmb就是稳态微聚束，可以用于制备各种大功率窄带宽的相干辐射光，用于科研与工业场景，理论上，一旦这种技术研发成功，那么就能通过一套装置稳定提供dUV，EUV的各种稳定光源。”

卧槽，这么牛？路阳可没听过，但隐隐感觉到这东西很有可能颠覆光刻机啊，要知道光刻机为什么要叫光刻，光就是基础啊，如果一套设备能制备各种类型的光用于雕刻，那不是要飞天？

根据瑞利判据，要提高光刻机的分辨率，就必须缩短光的波长，dUV使用的就是193纳米的深紫外光，EUV则是13.5纳米，为了获得这个级别的波长，那简直是绞尽科学家们的脑汁。

ASmL的13.5纳米极紫外光是如何产生呢？

原理也并不复杂，先用电流给二氧化碳介质通电，让其进入高能态产生红外激光，然后用这个激光来轰击液态锡，让其进入到高能等离子体状态，在等离子体冷却时就会发射出13.5纳米波长的极紫外光，ASmL给这个技术取名叫Lpp-EUV。

现在实验室用的光源是大连光源结合多家研究室发明的dpp-EUV，原理上是一样的。

但清大的这个思路，完全又是另一种路线了了，如果这位唐教授的SSmb技术能用于光刻机，那不就是SSmb-EUV了吗？

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